С посещението на този сайт вие приемате използването на cookie. Повече за нашата политика cookie.

В 26239.7-84

ГОСТ Р ISO 15353-2014 ГОСТ Р 55080-2012 ГОСТ Р ISO 16962-2012 ГОСТ Р ISO 10153-2011 ГОСТ Р ISO 10280-2010 ГОСТ Р ISO 4940-2010 ГОСТ Р ISO 4943-2010 ГОСТ Р ISO 14284-2009 ГОСТ Р ISO 9686-2009 ГОСТ Р ISO 13899-2-2009 В 18895-97 В 12361-2002 В 12359-99 В 12358-2002 В 12351-2003 В 12345-2001 В 12344-88 В 12350-78 В 12354-81 В 12346-78 В 12353-78 В 12348-78 В 12363-79 В 12360-82 В 17051-82 В 12349-83 В 12357-84 В 12365-84 В 12364-84 ГОСТ Р 51576-2000 В 29117-91 В 12347-77 В 12355-78 В 12362-79 В 12352-81 ГОСТ Р 50424-92 ГОСТ Р 51056-97 ГОСТ Р 51927-2002 ГОСТ Р 51928-2002 В 12356-81 ГОСТ Р ISO 13898-1-2006 ГОСТ Р ISO 13898-3-2007 ГОСТ Р ISO 13898-4-2007 ГОСТ Р ISO 13898-2-2006 ГОСТ Р 52521-2006 ГОСТ Р 52519-2006 ГОСТ Р 52520-2006 ГОСТ Р 52518-2006 В 1429.14-2004 В 24903-81 В 22662-77 В 6012-2011 В 25283-93 В 18318-94 В 29006-91 В 16412.4-91 В 16412.7-91 В 25280-90 В 2171-90 В 23401-90 В 30642-99 В 25698-98 В 30550-98 В 18898-89 В 26849-86 В 26876-86 В 26239.5-84 В 26239.7-84 В 26239.3-84 В 25599.4-83 В 12226-80 В 23402-78 В 1429.9-77 В 1429.3-77 В 1429.5-77 В 19014.3-73 В 19014.1-73 В 17235-71 В 16412.5-91 В 29012-91 В 26528-98 В 18897-98 В 26529-85 В 26614-85 В 26239.2-84 В 26239.0-84 В 26239.8-84 В 25947-83 В 25599.3-83 В 22864-83 В 25599.1-83 В 25849-83 В 25281-82 В 22397-77 В 1429.11-77 В 1429.1-77 В 1429.13-77 В 1429.7-77 В 1429.0-77 В 20018-74 В 18317-94 ГОСТ Р 52950-2008 ГОСТ Р 52951-2008 В 32597-2013 ГОСТ Р 56307-2014 В 33731-2016 В 3845-2017 ГОСТ Р ISO 17640-2016 В 33368-2015 В 10692-2015 ГОСТ Р 55934-2013 ГОСТ Р 55435-2013 ГОСТ Р 54907-2012 В 3845-75 В 11706-78 В 12501-67 В 8695-75 В 17410-78 В 19040-81 В 27450-87 В 28800-90 В 3728-78 В 30432-96 В 8694-75 ГОСТ Р ISO 10543-99 ГОСТ Р ISO 10124-99 ГОСТ Р ISO 10332-99 В 10692-80 ГОСТ Р ISO 17637-2014 ГОСТ Р 56143-2014 ГОСТ Р ISO 16918-1-2013 ГОСТ Р ISO 14250-2013 ГОСТ Р 55724-2013 ГОСТ Р ISO 22826-2012 ГОСТ Р 55143-2012 ГОСТ Р 55142-2012 ГОСТ Р ISO 17642-2-2012 ГОСТ Р ISO 17641-2-2012 ГОСТ Р 54566-2011 В 26877-2008 ГОСТ Р ISO 17641-1-2011 ГОСТ Р ISO 9016-2011 ГОСТ Р ISO 17642-1-2011 ГОСТ Р 54790-2011 ГОСТ Р 54569-2011 ГОСТ Р 54570-2011 ГОСТ Р 54153-2010 ГОСТ Р ISO 5178-2010 ГОСТ Р ISO 15792-2-2010 ГОСТ Р ISO 15792-3-2010 ГОСТ Р 53845-2010 ГОСТ Р ISO 4967-2009 ГОСТ 6032-89 В 6032-2003 В 7566-94 В 27809-95 В 22974.9-96 В 22974.8-96 В 22974.7-96 В 22974.6-96 В 22974.5-96 В 22974.4-96 В 22974.3-96 В 22974.2-96 В 22974.1-96 В 22974.13-96 В 22974.12-96 В 22974.11-96 В 22974.10-96 В 22974.0-96 В 21639.9-93 В 21639.8-93 В 21639.7-93 В 21639.6-93 В 21639.5-93 В 21639.4-93 В 21639.3-93 В 21639.2-93 В 21639.0-93 В 12502-67 В 11878-66 В 1763-68 В 13585-68 В 16971-71 В 21639.10-76 В 2604.1-77 В 11930.7-79 В 23870-79 В 11930.12-79 В 24167-80 В 25536-82 В 22536.2-87 В 22536.11-87 В 22536.6-88 В 22536.10-88 В 17745-90 В 26877-91 В 8233-56 В 1778-70 В 10243-75 В 20487-75 В 12503-75 В 21548-76 В 21639.11-76 В 2604.8-77 В 23055-78 В 23046-78 В 11930.11-79 В 11930.1-79 В 11930.10-79 В 24715-81 В 5639-82 В 25225-82 В 2604.11-85 В 2604.4-87 В 22536.5-87 В 22536.7-88 В 6130-71 В 23240-78 В 3242-79 В 11930.3-79 В 11930.5-79 В 11930.9-79 В 11930.2-79 В 11930.0-79 В 23904-79 В 11930.6-79 В 7565-81 В 7122-81 В 2604.3-83 В 2604.5-84 В 26389-84 В 2604.7-84 В 28830-90 В 21639.1-90 В 5640-68 В 5657-69 В 20485-75 В 21549-76 В 21547-76 В 2604.6-77 В 22838-77 В 2604.10-77 В 11930.4-79 В 11930.8-79 В 2604.9-83 В 26388-84 В 14782-86 В 2604.2-86 В 21639.12-87 В 22536.8-87 В 22536.0-87 В 22536.3-88 В 22536.12-88 В 22536.9-88 В 22536.14-88 В 22536.4-88 В 22974.14-90 В 23338-91 В 2604.13-82 В 2604.14-82 В 22536.1-88 В 28277-89 В 16773-2003 В 7512-82 В 6996-66 В 12635-67 В 12637-67 В 12636-67 В 24648-90

В 26239.7−84 Силиций полупроводници. Метод за определяне на кислород, въглерод, азот (с Промяната N 1)


В 26239.7−84

Група В59


ДЪРЖАВЕН СТАНДАРТ СЪЮЗА НА ССР

СИЛИЦИЙ ПОЛУПРОВОДНИЦИ

Метод за определяне на кислород, въглерод и азот

Semiconductor silicon. Method of oxygen, carbon and nitrogen determination


ОКСТУ 1709

Дата на въвеждане 1986−01−01


С постановление на Държавния комитет на СССР по стандартите от 13 юли 1984 г. N 2491* срокът на валидност е с 01.01.86 до 01.01.91**
__________________
* См. етикет «Забележки»;
** Ограничение на срока на валидност, заснети по протокол N 7−95 Магистралата на Съвета по стандартизация, метрология и сертификация (ИУС, N 11, 1995 година). — Забележка на производителя на базата данни.

Изменено с постановление N 1, одобрен и въведеното в действие от 01.01.91 постановление Госстандарта на СССР от 26.06.90 N 1847

Промяна N 1 извършени от производителя на база данни по въпросите на ИУС, N 10, 1990 година


Този стандарт определя метод за определяне на кислород, въглерод и азот в полупроводниковом силиций с помощта на активиране с ускорени йони ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)и протони в интервали от стойности на масови акции на примеси:

   
кислород инструментален анализ

от 5·от 10ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)до 1·10ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)%

с освобождаването на радиохимическим

от 1·от 10ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)до 1·10ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)%

въглерод инструментален анализ

от 2·от 10ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)до 1·10ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)%

с освобождаването на радиохимическим

от 1·от 10ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)до 1·10ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)%

азот с освобождаването на радиохимическим

от 1·от 10ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)до 1·10ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)%.


Методът се основава на облъчени анализираните проби и мостри за сравнение с ускорени йони ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)(определяне на кислород и въглероден диоксид) или протони (определяне на азот), с последващо измерване на наведенной активност на радиоактивни ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)F и ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)С спектрометъра ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)-мачове.

Съдържанието на примеси в тестова проба, се определя чрез съпоставяне на период сметки импулси радиоактивни изотопи на определени елементи в проби и образци за сравнение.

1. ОБЩИ ИЗИСКВАНИЯ

1.1. Общи изисквания към метода на анализ — в 26239.0−84.

2. АПАРАТУРА, МАТЕРИАЛИ И РЕАКТИВИ


Ускорител на заредени частици — източници на йони ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)Не е с енергията на 13 мэВ при tox йони в гредата 1−5 мкА, източник на протони с енергия не по-малко от 6,5 МэВ и ток йони в гредата 1−5 мкА.

Спектрометър ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)-мачове с кристали Nal (T1), с размер не по-малко 100х70 мм

Универсален радиометър-дозиметър тип МКС-01Р.

Бюксы тип 1К-НЖ за радиохимических работи с допълнителна защита от оловни тухли и просвинцованного стъкло в съответствие с изискванията на НРБ-76/87/

Средства за индивидуална защита от радиация и замърсяване на радиоактивни вещества, съгласно изискванията на СУАПОВЕ-72/87*.
_______________
* На територията На Руската Федерация документ не действа. Действат SP 2.6.1.799−99. — Забележка на производителя на базата данни.

Хронометър И 5072−79.

Везни аналитични.

Центрофугира лаборатория със скорост на въртене от 5000 об/мин.

Плочки електрически.

Штангенциркуль тип В20034.

Помпа водоструйный лабораторен стъклен.

Шайби мед с диаметър 35 мм, височина 13 мм с комплект сменяеми алуминиеви диафрагми с дебелина 0,4−0,5 мм Външен диаметър на диафрагми 30 мм и диаметри на отвори 7, 8, 9, 10, 11, 12, 13, 14 мм, по 5−8 бр. от всеки размер.

Касети алуминий, с диаметър 28 mm, височина 5 мм. Дебелина на дъното и на капака ленти за 1,5 мм.

Фолио алуминий с дебелина 10, 15, 23, 34, 50, 70 хм.

Азбест листа.

Набор от пробирок от тефлон-4 с капацитет по 20 смГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1).

Маша coreless.

Тигли никелови диаметър 30 мм, височина 50 мм

Печка тигельная вертикална, диаметър на кварцова поставяне 60 мм, височина 200 мм, с мощност 1,5 kw или подобна печка.

Маркуч гумен диаметър 6 мм.

Маркуч полихлорвиниловый диаметър 6 мм.

Силикагел, за хроматография марка на КСК с размера на зърна 100 микрона.

Филтърна хартия.

Хартия полулогарифмическая в 334−73.

Паус.

Образци за сравнение: плоча кварцов оптично стъкло марка KB размери 15х15х3 мм; плочи, изрязани от пирографита марка МПГ-8, размер на 15х15х3 мм; плоча алуминиев нитрид с размер на 15х15х3 mm.

Метални пинцети.

Пинцети от тефлон-4.

Метални шпатули.

Абразивни прахове М28, М20, М14., М10 в 3647−80.

Галлий метален технически.

Индий метален технически И 10297−75*.
______________
* На територията На Руската Федерация документ не действа. Действа В 10297−94. — Забележка на производителя на базата данни.


Чаша от тефлон-4, с диаметър 30−35 мм, височина 25−30 мм.

Реакционната колба от молибденового стъкло с капацитет 100 смГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)круглодонная.

Пипета от плексиглас по 5, 10 смГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1).

Склянки Дрекселя с капацитет от 50, 100 смГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1).

Чаши стъкло с капацитет от 50, 100, 500 и 1000 смГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1).

Филтри Шотта N 4, с диаметър 40 мм.

Колби Бунзена с капацитет 500 смГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1).

Цилиндри стъклени мерителни с капацитет от 25, 50 смГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1).

Цилиндри мерителни от плексиглас с капацитет 10, 15 смГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1).

Колби стъклени мерителни с капацитет 500 смГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1).

Тапи гумени.

Киселина азотна И 4461−77, концентриран.

Киселина сярна в 4204−77, концентриран.

Киселина фтористоводородная в 10484−78, концентриран.

Лантан азотнокислый.

Натрий флуорът технически.

Бариев натриев хлорид технически И 742−78.

Амоняк вода И 3760−79, селскостопанска ч., концентриран и 25%-тият.

Натрий азотнокислый технически И 828−77.

Натриев хидроксид концентрирани в 4828−83*, ч.
______________
* На територията На Руската Федерация документ не действа. Действа ГОСТ Р 51135−98. — Забележка на производителя на базата данни.

Натрий двууглекислый в 2156−76, чаена

Диетилов етер, селскостопанска ч.

Въглерод четыреххлористый в 20288−74.

Етилов алкохол ректификованный технически И 18300−87.


Водата е дестилирана И 6709−72.

Разтвор 1: разтвор lantana азотнокислого, съдържащ 0,2 г lantana 1 смГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1), 312 г La (NOГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1))ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)·6НГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)ЗА да се разтварят при нагряване в 170 смГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)концентрирана азотна киселина, разтворът се охлажда до стайна температура и се прехвърлят в мерителна колба с капацитет 500 смГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1), след това се довежда до марката с дестилирана вода.

Решение 2: смес от киселини, за полиране и разтваряне на проби силиций. Приготвя се в пластмасов буркан с капацитет 500 смГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)от концентрирана азотна и фтористоводородной киселини в съотношение 3:1 по обем.

Определят съдържанието на флуорид-йонна батерия в приготвената смес киселини: четири чаши капацитет 50 смГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)приливают до 10 смГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)разтвор 1 и се загрява на электроплитке до кипене. В кипящия разтвор 1 приливают 5 смГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)разтвор 2. В резултат във всяка чаша утайка флуорид lantana отделят отделени чрез центрофугиране, се измива с 5 М азотна киселина, етилов алкохол с ефира, ефира и се изсушава до постоянна маса. За 100% отговарят на изход флуорид lantana вземат средно аритметично на масите четири разпределени валежи.

Амоняк разтвор на бариев хлорид, съдържащ 0,14 g бариев 1 смГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1): 250 г BaClГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)·2НГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)ЗА разтваря в дестилирана вода, добавете 91 смГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)25% разтвор на амоняк, се прехвърлят в мерителна колба с капацитет 1000 смГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)и се долива до марката с дестилирана вода. Разтворът се изсипва в чаша с капацитет 2000 смГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)и оставете да заври. Охлаждане разтворът се филтрира и съхранява в херметически затворен контейнер. Ако при съхранение на разтвора попада утайката, разтворът трябва отново да се вари и утайката се филтрира.

Галлий-индиевый сплав, близък по състав до эвтектике (от 20 до 30% от индия и от 80 до 70% нитрид): в порцеланова чаша се поставя смес от галий и индий в отношение 7:3 на маса, отоплението е на електрически плочка, в рамките на 2−2,5 ч и охлаждане на въздуха.

Поносите, Изъм. N 1).

3. ПОДГОТОВКА ЗА АНАЛИЗ

3.1. Подготовка на анализираните силиций и мостри за сравнение за изрязване

3.1.1. За получаване на един резултат на анализ трябва да се подготви и облучить не по-малко от две паралелни силиций. На анализ се приготвя плоча на силициев диоксид под формата на квадратчета със страна 12−14 мм и с дебелина от 0,3−3,5 мм. Повърхност избрани за анализ на плочите трябва да бъде химически полирани. За получаване на химически полирани повърхности на силиций първо да се третират с абразивни прахове М28, М20, M14, преминавайки постепенно от по-едър прах М28 до М14… При ръчно шлифовке абразивен прах се нанася върху плоски стъклени плочи и навлажнена с вода. За всеки номер на прах трябва да бъде отделна чиния. Прахове, лекувани с двете самолет плочи силиций. Странична повърхност не се обработват. След смилане на всеки прах върху повърхности не трябва да има драскотини, вафли силиций трябва внимателно да се измие от предишния прах.

Смес от киселини за химическо полиране (решение 2) в количество, достатъчно за пълно потапяне плочи, наля в една чаша от тефлон. Чинията силиций давене в пинцети от тефлон и се потапят в полирующую смес. В процеса на полиране на сместа непрекъснато се бърка. Полирование стават, когато повърхността на силиций вафли става блестяща. Силиций-бързо се възстановява от полирующей смес, се измиват с течаща вода и се сушат на филтърна хартия. Ако на повърхността се откриват драскотини, порите или мивки, лечението трябва да се повтори.

Проби от повърхността на които са изброени по-горе дефекти при повтаряща се работа не се отстраняват, не са подходящи за анализ.

Избрани за анализ на вафли силиций се теглят, измерват микрометром дебелина в геометричния център, измерване на геометрични размери плоча штангенциркулем и се изчислява площта на повърхността.

Преди да инсталирате в медна шайбата на равнината на табелата силиций, обратна облучаемой, нанасят с помощта на дървени пръчки, индий-галлиевую эвтектику. Навлажнена повърхност на плочата силиций, поставен на повърхността на масивни медни шайби според нея геометрическому центъра, леко стисна и притирают към нея, се яви капчици по заетостта се отстранява с дървена пръчка, след това на чинията силиций се поставя алуминиево диафрагмата и да определи позицията на прижимными винтове. Отвор на диафрагмата трябва да бъде 1−2 мм по-малък диаметър или страна на квадрата плоча.

Поносите, Изъм. N 1).

3.1.2. Медни шайби с образци за сравнение се приготвя, както следва: в центъра на медни шайби се поставя образец на сравнение (кварц, графит или галиев алуминий) и определено си бленда и прижимными винтове.

Ако трябва да се намали енергията йони, между диафрагмата и образец на сравнение се поставя фолио от алуминий, с дебелина, която трябва да съответства на желания намаляване на енергия.

3.2. Облъчване на силиций и мостри за сравнение

Подготвени медни шайби с пластини от силициев да се зареждат в устройството за облъчване, периодично и в произволен ред за въвеждане между тях медни шайби с образци за сравнение.

За всяка определена добавка трябва да бъде подготвено за 9 дена с образци за сравнение, облучаемых при три различни стойности на енергия йони в интервал от 6 до 10 МэВ за ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)He и от 4 до 6,5 МэВ за протони.

При определяне на кислород и въглероден медни шайби с плочи силиций и образци за сравнение (кварц и графит) облучают бойко борисов ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)Не с енергия от 12,7 до 13 МэВ.

При определяне на азот вафли силиций и мостри за сравнение от алуминиев нитрид облучают протони с енергия 6,5 МэВ.

При облъчени силиций ток однозарядных йони е 1−5 мкА, на продължителността на експозиция от 20 до 120 минути

Образци за сравнение облучают ток не повече от 0,1 мкА, на продължителността на експозиция на 1−3 минути

Поносите, Изъм. N 1).

3.3. Обработка на облъчени образци за сравнение

Медни шайби с облученными образци за сравнение от кварц се оставя да престои в расфасовочном бокса в продължение на 4−5 часа, за миене на графит или нитридом алуминий издържат на 1,5−2 ч.

След провеждането на проби сравнение извлечени от шайби. Плоча кварц избършете с памучен тампон, натопен алкохол, опаковани в алуминиеви ленти и предават на спектрометър ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)-мачове за измерване на криви на раздялата.

3.4. Обработка на силиций след облъчване

След края на облъчването на медни шайби с пластини от силициев идват в расфасовочный бокс радиохимической лабораторията, където те се държат в продължение на 5−10 мин. (при анализа с радиохимическим освобождаването на аналитични изотопи ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)или F ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)), или 30−45 мин. (при инструментальном анализ).

В края на експозицията вафли силиций, екстракт от медни шайби, почистете повърхността на памучен тампон, натопен спирт, и се поставят в бокса за химическа обработка.

При определяне на кислород и въглероден с площ от облъчени силиций, трябва да бъдат премахнати слой с дебелина 45−50 микрона, което съответства на намаляване на енергията йони от 13 до 10 МэВ.

При определяне на азот (по протонах) с облъчени протони силиций премахват слой с дебелина 15−20 цм.

За премахване на повърхностния слой на вафли силиций, лекувани в смес фтористоводородной и азотна киселини (решение 2). На 10−15 смГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)от тази смес се налива в две чаши от тефлон. Чинията силиций давене в пинцети от тефлон и се потапят в чаша 1 така, че в процеса на ецване е тя да е напълно потопен в сместа. По време на ецване на сместа постоянно се разбърква.

Чинията силиций, лекувани в чаша 1 за фиксиран час (30 или 60 с), след това бързо се извличат я от чаша, внимателно се измиват с вода, сушени филтърна хартия и се теглят. За разликата между масата на пробата до ецване и след ецване определят дебелината на стравленного слой (ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)), хм, по формулата

ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1), (1)


където ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1);

ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1) — масата на пробата до офорт, mg;

ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1) — масата на пробата след ецване, mg;

ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1) — цялата повърхност на вафли силиций, ммГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1).

Ако след обработка в чаша 1 дебелината на стравленного слой е по-малка от изискваната, ецване да продължи в купата 2 с оглед на скоростта на ецване плоча на силиций в чаша 1. Отработените разтвори се изсипва в компилации на радиоактивни отпадъци.

В края на офорт на чинията силиций бързо се възстановява от смес от киселини, внимателно се измива с вода, сушени, се теглят и определят пълни с дебелина стравленного слой по формула (1). Дебелината на стравленного на слоя трябва да бъде такава, че активността на останалите на плоча част облученного слой съответства на енергията на частиците 10 МэВ.

Обработени по този начин, вафли силиций предават на инструментален анализ или да се подлага на по-нататъшна радиохимической обработка.

Поносите, Изъм. N 1).

4. ПРОВЕЖДАНЕ НА АНАЛИЗ НА

4.1. Инструментално определяне на кислород и въглерод в силиций

Инструментален метод се прилага за определяне на кислород, въглерод в поликристаллическом силиций и в нелегированном силиций и в силиций, отгледани по метода на бестигельной на зонната топене, а също и за определяне на кислород в силиций, отгледани по метода на Чохральского.

След отстраняване на повърхностния слой (виж sp 3.4) табелата на силиций са опаковани в лента от алуминий и предават на спектрометър ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)-мачове за измерване на криви на раздялата.

Преди началото на измерванията спектрометър ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)-съвпадения с помощта на източник ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)Na настройват в режим регистрация аннигиляционных ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)-кванти, след което определят естествен фон на спектрометъра.

Измерване на активността на вафли силиций (брой мачове за единица време) трябва да се започне един час след края на облъчването. В рамките на първия час от измерванията, когато се отчитат дейност ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)С интервали между размерите на дейност трябва да бъде 10−15 мин, след това на интервали от време между измерванията на активност могат да бъдат увеличени до 30−60 мин. Време на набиране на мачове във всяко такова измерване задават този, при който статистически отклонения (ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)) не надвишава 0,1. Измерване стават, когато активността на пробата се намалява до стойността на естествения фон на спектрометъра.

Активност на проби за сравнение на измерените на спектрометъра ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)-съвпадения в продължение на две-четири периоди на полуживот на съответния аналитичен изотоп (за ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)F ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)109,8 мин, ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)С ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)20,38 мин.). За регистрация на дейност ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)С мостри за сравнение от графит и нитрид алуминий измерват с интервал 20−40 мин, ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)F-образци за сравнение от кварц — с интервал от 60−120 минути

Според резултатите от измерване активността на изграждането на полулогарифмической хартия криви разпадането на мвр ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)F и ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)С плочи силиций и образци за сравнение. Тези криви строи в координати ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1), къде ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1) — скорост сметка на аналитичния), совп./мин, измерена в определен момент от времето ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1).

Криви на раздялата, основаващи се на резултатите от измерване активността на силиций, обикновено се състоят от два компонента с полуживот 20,38 мин. (ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)С) и 109,8 (ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)F).

Обработка на криви раздялата се състои в графично разлагането на компоненти и намиране на метод на екстраполация на скоростта сметки на всеки аналитичен изотоп ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)(ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)F), ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)(ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)С) в момента на приключване на облъчване.

Ако в обработката на криви на разпадането на установено несъответствие периоди на полуразпад, открити в експеримента, табличным стойности, анализ на дадена вафли силиций трябва да се повтори с използването на радиохимического разпределение аналитични изотопи.

Криви на раздялата, основаващи се на резултатите от измерване активността на проби за сравнение, са однокомпонентными и трябва да съответства на периода на полуразпад ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)С графит или ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)F за кварц. По тези криви разпадането определят скоростта на сметки ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)F (ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1), совп./мин) в кварце и скорост на сметки ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)С (ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1), совп./мин.) в графите, в момент на края на облъчване.

Получените стойности на активността на проби за сравнение за три стойности на енергия активирующих частици се използват за изграждане на калибровъчните криви — в зависимости ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1), ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)от енергия активирующих частици ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1), МэВ. Тези габарит криви използват за определяне на активност на проби за сравнение при междинни стойности на енергия активирующих частици, съответстващи на действителната дебелина дистанционно с вафли силиций на повърхностния слой.

Масовата акция примеси в процент изчисляват по формули:


на кислород ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1); (2)

въглерод ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1), (3)


къде ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1), ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1) — скорост на сметки радиоизотопа ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)F и ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)С това в момент на края на облъчване в вафли силиций, съответстваща на енергията на частиците ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1), совп./мин;

ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1), ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1) — скорост на сметки радиоизотопа ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)F и ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)С това в момент на края на експозиция в кварце (SiOГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)) или графите ©, съответстваща на енергията на частиците ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1), совп./мин;

ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1),ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1), ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1) — среден ток активирующих частици при облъчени на газта силиций (ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)), кварц (SiOГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)) или графит ©, мкА;

ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1), ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1), ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1) — продължителността на облъчване на газта силиций (ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)), кварц (SiOГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)) и графит ©, мин.

Описан принцип на измерване на криви раздялата, обработка на резултатите от измервания и получаване на крайния резултат — концентрацията на определени замърсители в вафли силиций, — положени в основата на автоматизирана система «ЩЕ проучим» в комплекс с КОМПЮТЪР ЕС-1010. Програма за обработка на резултатите от измерванията е изготвена на език FORTRAN-4″.

За резултата от анализа вземат средно аритметично на две пресметнати по формула (2) или (3) резултатите от паралелни определения, всеки от които получи за една от двете силиций, облъчени при един режим на работа на педала на газта (без корекция на енергия).

Разликата е по-голям и по-малък от две резултати от паралелни определения с надеждната вероятност ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)0,95 не трябва да надвишава количествата, абсолютни установените несъответствия, посочени в таблица.1.

Таблица 1

     
Дефинирана като Фракцията на масата на примеси, % Абсолютна + / отклонение, %
Кислород

1·10ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)

6,3·10ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)

 

1·10ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)

6,3·10ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)

 

1·10ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)

6,3·10ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)

 

1·10ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)

6,3·10ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)

 

5·10ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)

3,0·10ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)

Въглерод

1·10ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)

5,5·10ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)

 

1·10ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)

5,5·10ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)

 

1·10ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)

5,5·10ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)

 

2·10ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)

1,0·10ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)



Верността на резултатите от анализ контролират метод, заключающимся анализират едни и същи силиций при две стойности на енергиите активирующих частици. За контрол на правилността на избраната от по-рано анализирани силиций проби със съдържание на контролирани примеси на ниво 10ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)-10ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)% по маса.

Кислородът и въглеродът определят при енергия на йони ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)Не е 7,5 и 10 МэВ, при определяне на азот плоча облучают протони с енергия 5 и 6,5 МэВ.

Анализ на резултатите смятат за верни с надеждната вероятност ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)0,95, ако разликата между тези, намерени при различни енергии на частиците стойности на концентрацията на примеси да не надвишава количествата, абсолютни установените несъответствия, посочени в таблица.1.

Поносите, Изъм. N 1).

4.2. Анализ на прилагането на радиохимического разпределение аналитични изотопи

4.2.1. Определяне на кислород в силиций с прилагането на радиохимического секрет

Методът се използва за определяне на съдържанието на кислород в силиций, когато трябва да се елиминира влиянието на примеси-източници на позитронной активност. Наличието на смущения от примеси и необходимостта от тяхното отстраняване определят резултатите от обработката на криви на разпадане при анализа на силиций инструментален метод в съответствие с sp 4.1.

За определяне на съдържанието на кислород с прилагането на радиохимического разпределение ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)F вафли силиций след инструментален анализ на p. 4.1 трябва да бъдат повторно преработени в съответствие със sp 3.1, отново облучены, подправи, след края на експозиция в рамките на 5−10 мин и преработени в съответствие със sp 3.4, след което плаката силиций се прехвърлят в бокса, N 2, за радиохимических работи.

В чаша от тефлон изсипва 5 смГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)смес от концентриран фтористоводородной и азотна киселини с известни съдържание на флуор (решение 2) и в нея пинсети от тефлон, потопена силиций.

По време на разтваряне на сместа, дебелината на обшивката на силициев диоксид трябва да намалеят, не по-малко от 300 микрона. Количество силиций, на преведения в разтвор, контролират, за да се намали масата на вафли силиций ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1), мг с оглед на пълната си повърхност ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1), mmГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)(виж sp 3.4).

В реакционната колба уреда за дестилация на флуор (по дяволите.1) се поставя 250−300 мг смачкани силикагел, колба, затвори фунии с притертой запушалка и се свързват към водоструйному помпа, след което в колбата се изсипва смес 2 от фторопластовой чаша, съдържаща разтворен силиций, и приливают 10−15 смГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)концентрирана сярна киселина.

По дяволите.1. Уред за дестилация съединения флуор със силикон от молибденового стъкло

Уред за дестилация съединения флуор със силикон от молибденового стъкло

ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)


1 — реакционната колба; 2 — тръба с силикагел, пропитанным концентрирана сярна киселина; 3 — приемник на флуорид, съдържащ 15 cmГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)дестилирана вода


По дяволите.1



Флуориди силиций се дестилира в продължение на 3−5 минути при работа на водоструйном помпата и усвояване на дестилирана вода в приемника 3. След края на отгонки приемник 3 отсоединяют от уреда, а след това спират водоструйный помпа.

Решение от приемника 3 изсипва се в стъклена чаша с капацитет от 100 смГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1), съдържащ 15 смГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)нагряване до кипене на разтвора нитрат lantana (разтвор 1), и продължават да се загрява още в продължение на 1 мин, непрекъснато разбъркване на разтвора.

Образувалите се твърди, флуор lantana отделят отделени чрез центрофугиране, се измива последователно с топла и 5 М азотна киселина, спирт с ефира, ефира и след това се изсушава чрез поставяне на епруветка с утайка в близост до котлони.

Продължителност на химически отделяне на утайката на флуорид, lantana не надвишава 20−30 мин.

Сух остатък флуорид lantana прехвърлени към паус, увити в нея, паус се поставя в алуминиева лента и предават на спектрометър ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)-мачове за измерване на кривата на раздялата.

Активност на утайки флуорид lantana измерване на спектрометъра ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)-съвпадения с интервали между измерванията 30−60 мин. Измерване стават, когато активността на утайка да падне до нивото на заден план спектрометър.

Според резултатите от измервания изграждане на крива на разпадането ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)и по нея определят скоростта на сметки ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)F по фториде lantana ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1), совп./мин, в момента на приключване на експозиция метод на екстраполация.

След приключване на измерванията утайката на флуорид, lantana се от алуминиеви ленти и се теглят. Химически изход флуор ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)се определя като отношението на масата на утайката ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1), съответстваща на 100%-ному отделянето на флуор, до масата ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1), посветен на този опит на утайки

ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1). (4)


Масовата акция примеси на кислород (ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)) в процент изчисляват по формулата

ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1), (5)


където ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)е скоростта на сметки радиоизотопа ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)F в момент на края на облъчване в вафли силиций, съответните енергия частици ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1), совп./мин;

ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1) — скорост на сметки радиоизотопа ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)F в момент на края на експозиция в кварце (SiOГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)), съответстваща на енергия активирующих частици ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1), совп./мин;

ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1),ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1) — среден ток активируемых частици при облъчени на газта съответно силиций (ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)), кварц (SiOГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)), мкА;

ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1), ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1) — продължителността на облъчване на газта съответно силиций (ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)), кварц (SiOГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)), мин.;

ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1) — химически изход флуор.

Измерване на криви разпадането на избраните валежи флуорид lantana и обработка на резултатите от измерванията са предвидени по програмата, изготвени за автоматизирана система «ЩЕ проучим» в комплекс с КОМПЮТЪР ЕС-1010, написана на език FORTRAN-4″.

За резултата от анализа вземат средно аритметично на две пресметнати по формула (5) резултатите от паралелни определения, всеки от които получи за една от двете силиций, облъчени при един режим на работа на педала на газта (без корекция на енергия).

Разликата е по-голям и по-малък от два резултата паралелни определения с надеждната вероятност ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)0,95 не трябва да надвишава количествата, абсолютни установените несъответствия, посочени в таблица.2.

Таблица 2

   
Фракцията на масата примеси на кислород, %
Абсолютно + / отклонение, %

1·10ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)

7,0·10ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)

1·10ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)

7,0·10ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)

1·10ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)

7,0·10ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)

1·10ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)

7,0·10ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)

5·10ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)

3,0·10ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)



Верността на резултатите от анализ контролират vp 4.1.

4.2.2. Определяне на кислород и въглерод в силиций с прилагането на радиохимического отделяне на флуор и въглерод.

Методът се прилага в случаите, когато е необходимо за премахване на взаимното влияние на кислород и въглерод, а също и други примеси — източници на позитронной активност на резултатите от анализа.

В никелова тигел се поставят 2 г натриев хидроксид, 1 г азотнокислого натрий, 0,8 g флуор и натрий 0,3 g натриев карбонат, тигел се поставят в тигельную фурна, предварително загрята на 200−250 °С, се задържат в нея преди прекратяване на обгазяване. След това крусибъл се от фурната, охлажда въздуха до 100−150 °С, след което се разтапят се потапят проба силиций. Температурата на пещта се повишава до 400−450 °С, съд с пробата се поставят в пещта и се извършва сплавление в продължение на 4−5 минути След края на срастването никелова крусибъл 1 се от фурната, охлажда въздуха до 100−150 °С и се поставя на дъното на реакционного съда 2 уреда (по дяволите.2).

По дяволите.2. Уред за дестилация съединения флуор със силикон и на въглероден двуокис от молибденового стъкло

Уред за дестилация съединения флуор със силикон и на въглероден двуокис от молибденового стъкло

ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)


1 — никелова съд със студена расплавом; 2 — реакцията съд; 3 — тръба с силикагел, пропитанным концентрирана сярна киселина; 4 — приемник на флуорид, съдържащ 15 cmГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)дестилирана вода; 5 — междинен капацитет; 6 — приемник на въглероден диоксид, съдържащ 15 смГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)амонячен разтвор на бариев хлорид


По дяволите.2


Реакцията съд затварят просмукване фуния, уред за дестилация газове се свързват към водоструйному помпа. В реакцията съд чрез капельную фуния приливают 10−15 смГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)концентрирана сярна киселина. След 4−5 мин след началото на реакцията в колба приливают 1,5−2 смГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)вода. Отгонку продължи за още 3 мин., след което последователно спирателен приемници 3, 5 и водоструйный помпа.

4.2.2.1. Определяне на кислород

От разтвора, съдържащ се в приемника 4, отделя утайката на флуорид, lantana vp 4.2.1.

Химически изход флуор определят по формулата

ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1), (6)


където ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)е е масата на утайката на флуорид, lantana, посветен на този опит г.

Масовата акция примеси на кислород се изчислява по формула (5).

За резултата от анализа вземат средно аритметично на две пресметнати по формула (5) резултатите от паралелни определения, всеки от които получи за една от двете силиций, облъчени при един режим на работа на педала на газта (без корекция на енергия).

Разликата е по-голям и по-малък от два резултата паралелни определения с надеждната вероятност ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)0,95 не трябва да надвишава количествата, абсолютни установените несъответствия, посочени в таблица.3.

Таблица 3

   
Фракцията на масата примеси на кислород, %
Абсолютно + / отклонение, %

1·10ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)

7,0·10ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)

1·10ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)

7,0·10ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)

1·10ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)

7,0·10ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)

1·10ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)

7,0·10ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)



Верността на резултатите от анализ контролират vp 4.1.

4.2.2.2. Определяне на въглерод

От разтвора, съдържащ се в приемника 6, отделя утайката на бариев карбонат. За това съдържанието на приемника 6 изсипва в чаша. Чаша покрити часови стъкло, поставени на электроплитку и се вари в продължение на 1−2 минути След това разтворът се охлажда, в резултат на утайката да се събират на хартиен филтър, стаята в дъното на фунията Шотта. Фильтрование произвеждат при разряжении, создаваемом водоструйным помпа. Утайката се измива последователно студен разтвор на бариев хлорид, спирт, етер, се изсушават на въздуха. Филтърът с утайката се прехвърля на паус, увити в нея. Паус с утайката се поставя в алуминиева касета за измерване на активността на спектрометъра ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)-мачове.

Дейност посветен на утайки емисии на бариев измерват в рамките на първия час на всеки 10−15 мин, след това интервал между измерванията може да бъде увеличена до 30−60 мин. Измерване стават, когато дейността на емисии на бариев намалява до нивото на заден план в измервателната инсталиране.

Според резултатите от измерване активността на изграждане на крива на разпадането ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)и на него метод на екстраполация определят скоростта на сметки ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)С карбонате бариев ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)в момент на края на облъчване.

След края на измервания на утайката на бариев карбонат, екстракт от алуминиеви ленти и се теглят. Химически изход диоксид се определя като отношението на масата на утайката емисии на барий, съответстваща на 100% на отделянето на тази, която въведе в опит стабилен изотоп носител на въглерод 0,558 г, до масата ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)посветен в този опит на утайки

ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1). (7)


Масовата акция примеси от въглерод (ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)) в проценти се изчислява по формулата

ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1), (8)


където ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)е скоростта на сметки радиоизотопа ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)С в момент на края на облъчване в вафли силиций, съответстваща на енергията на частиците ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1), совп./мин;

ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1) — активност на радиоизотопа ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)С в момент на края на експозиция в графите © при енергия активирующих частици ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1), совп./мин;

ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1), ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1) — среден ток активирующих частици при облъчени съответно силиций (ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)) и графит ©, мкА;

ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1), ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1) — продължителността на облъчване, съответно силиций (ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)) и графит ©, мин.;

ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1) — химически изход на въглерод.

Измерване на криви разпадането на избраните валежи бариев карбонат и обработка на резултатите от измерванията са предвидени по програмата, изготвени за автоматизирана система «ЩЕ проучим» в комплекс с КОМПЮТЪР ЕС-1010, написана на език FORTRAN-4″.

За резултата от анализа вземат средно аритметично на две пресметнати по формула (8) резултатите от паралелни определения, всеки от които получи за една от двете силиций, облъчени при един режим на работа на педала на газта (без корекция на енергия).

Разликата е по-голям и по-малък от две резултати от паралелни определения с надеждната вероятност ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)0,95 не трябва да надвишава количествата, абсолютни установените несъответствия, посочени в таблица.4.

Таблица 4

   
Фракцията на масата на примеси от въглерод, %
Абсолютно + / отклонение, %

1·10ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)

8,3·10ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)

1·10ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)

8,3·10ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)

1·10ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)

8,3·10ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)

2·10ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)

8,3·10ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)



Верността на резултатите от анализ контролират vp 4.1.

4.2.3. Определяне на азот в силиций с прилагането на радиохимического отделяне на въглерод

Методът се използва за определяне на съдържанието на азот в силиций, ако масова акция на бор в него не надвишава 1·10ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)%.

При определяне на азот от уреда за дестилация (по дяволите.2) изключване на приемника 4, свързване на телефона със силикагел 3 и посредническа капацитет 5 хлорвиниловой тръбата. Дефиниция изпълняват, както е посочено в sp 4.2.2.2.

За резултата от анализа вземат средно аритметично на две пресметнати по формула (8) резултатите от паралелни определения, всеки от които получи за една от двете силиций, облъчени при един режим на работа на педала на газта (без корекция на енергия).

Разликата е по-голям и по-малък от два резултата паралелни определения с надеждната вероятност ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)0,95 не трябва да надвишава количествата, абсолютни установените несъответствия, посочени в таблица.5.

Таблица 5

   
Фракцията на масата примеси на азот, %
Абсолютно + / отклонение, %

1·10ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)

9,5·10ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)

1·10ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)

9,5·10ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)

1·10ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)

9,5·10ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота (с Изменением N 1)



Верността на резултатите от анализ контролират vp 4.1.

4.2.1, 4.2.2, 4.2.2.1, 4.2.2.2, 4.2.3. (Изменената редакция, Изъм. N 1).